我们的 TIGER OPTICS™ 超高纯度(UHP)气体分析仪采用先进的光腔衰荡光谱(CRDS),可实现对气体质量的精确分析。我们的分析仪在工业气体、医用气体和化学加工行业得到广泛应用,能够检测各种工艺气体(包括惰性气体、反应性气体、腐蚀性气体、散装气体和特种气体)中的痕量水分和其他杂质。
我们的 TIGER OPTICS UHP 气体分析仪采用 CRDS 技术,这是一种高灵敏度、无损的方法,可定量测量分子吸收。这使得在需要最高纯度标准的应用中能够进行超精确的痕量气体分析。
光腔衰荡光谱通过测量高反射光腔内激光的吸收率来运行。激光脉冲被注入腔体,在两个超反射镜之间反射数千次。当光与气体样品相互作用时,即使是微小浓度的杂质(例如水分、氧气或碳氢化合物)也会吸收部分光,导致其强度衰减。
通过精确测量光强衰减至阈值水平所需时间("衰荡时间"),可直接计算出目标气体的浓度,获得实时、高精度的分析结果。
• 半导体制造中的UHP超高纯气体分析
• 医疗和工业气体中的水分检测
• 化学和特种气体生产中的杂质监测
• 在高完整性工艺环境中保证持续的气体纯度
• 痕量杂质的亚ppb级检测限
• 无需校准 - 维护成本低
• 响应时间快,重现性高
• 满足法规符合性和工艺优化需求
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